用于转移半导体器件的可变节距多针头
授权
摘要
一种直接转移装置，包括点矩阵转移头，该点矩阵转移头包括冲击丝壳体和设置在该冲击丝壳体内并且延伸出该冲击丝壳体的多根冲击丝。该冲击丝壳体附接有引导头。该引导头包括被配置用于将多根冲击丝布置成矩阵结构的多个孔，该矩阵结构是节距匹配结构。
基本信息
专利标题 ：
用于转移半导体器件的可变节距多针头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112020767A
申请号 ：
CN201980027553.7
公开（公告）日 ：
2020-12-01
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN112020767B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
C·彼得森A·哈斯卡
申请人 ：
罗茵尼公司
申请人地址 ：
美国爱达荷州
代理机构 ：
南京苏创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
常晓慧
优先权 ：
CN201980027553.7
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2021-02-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20190926
申请日 : 20190926
2020-12-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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