一种多层电子装置可以包括在垂直于X‑Y平面的Z方向上堆叠的多个介电层。所述装置可以包括第一导电层，所述第一导电层覆盖在所述多个介电层中的一个上。所述多层电子装置可以包括第二导电层，所述第二导电层覆盖在所述多个介电层中的另一个上并且在所述Z方向上与所述第一导电层间隔开。所述第二导电层可以在所述X‑Y平面中在重叠区域处与所述第一导电层重叠以形成电容器。所述第一导电层可以具有在所述重叠区域的边界处的一对平行边缘和在所述重叠区域内的偏移边缘，所述偏移边缘平行于所述一对平行边缘。在所述偏移边缘与所述一对平行边缘中的至少一个之间的偏移距离可以小于约500微米。