安装相关装置及导轨装置
授权
摘要
安装相关装置具备多关节机器人，上述多关节机器人配设于在第一搬运部与第二搬运部之间形成的可动空间，并以能够变更安装面的姿势的方式保持处理对象物，并使该处理对象物移动，第一搬运部及第二搬运部具备能够装配一对导轨装置且能够解除装配的导轨装配部，上述一对导轨装置在搬运基板时被架设于第一搬运部与第二搬运部之间而使基板移动。
基本信息
专利标题 ：
安装相关装置及导轨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113273324A
申请号 ：
CN201980087194.4
公开（公告）日 ：
2021-08-17
申请日 ：
2019-02-05
授权号 ：
CN113273324B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
市野慎次滨根刚
申请人 ：
株式会社富士
申请人地址 ：
日本爱知县知立市
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
杨青
优先权 ：
CN201980087194.4
主分类号 ：
H05K13/04
IPC分类号 ：
H05K13/04
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2021-09-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05K 13/04
申请日 : 20190205
申请日 : 20190205
2021-08-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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