一种光电子装置（20）包括薄膜结构（56），所述薄膜结构（56）设置在半导体衬底（54）上并且被图案化，以便限定集成驱动电路的部件，所述集成驱动电路被配置为生成驱动信号。交替的金属层（44，46）和介电层（50）的后端线（BEOL）堆叠（42）设置在所述薄膜结构上方。所述金属层包括调制器层（48），所述调制器层（48）包含等离子体激元波导（36，99，105）和多个电极（30，32，34，96，98，106），所述多个电极（30，32，34，96，98，106）响应于所述驱动信号而对所述等离子体激元波导中传播的表面等离子体激元极化子（SPP）施加调制。多个互连层被图案化以将所述薄膜结构耦合到所述电极。光输入耦合器（38，82）被配置为将光耦合到所述调制器层中，由此通过所述SPP的所述调制来调制所述光，并且光输出耦合器（38，82）被配置为将所述调制光耦合出所述调制器层。