空气调节系统
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种用简单的结构高精度地维持洁净室的室压的空气调节系统。空气调节系统(S)包括具有进行从包括制备室(R7)的天花板背面的空间的腔室(C)向制备室(R7)的供气的供气风扇(1a、2a)的风扇过滤器单元(1、2)、和具有进行制备室(R7)的空气的经由腔室(C)进行的回气和从制备室(R7)进行的排气的回气风扇(3a)的风扇过滤器单元(3)，并且包括在制备室(R7)中设置的压力传感器(31)、和基于压力传感器(31)的检测值对回气风扇(3a)进行控制的控制部。
基本信息
专利标题 ：
空气调节系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341559A
申请号 ：
CN201980099880.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2019-12-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
关泽充佐藤祐一松崎和仁
申请人 ：
日立环球生活方案株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN201980099880.3
主分类号 ：
F24F7/007
IPC分类号 ：
F24F7/007 F24F7/06 F24F11/74
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F24
供热；炉灶；通风
F24F
空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用
F24F
空气调节；空气增湿；通风；空气流作为屏蔽的应用
F24F7/00
通风
F24F7/007
强制流动的
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F24F 7/007
申请日 : 20191204
申请日 : 20191204
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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