光距离测定装置以及加工装置
实质审查的生效
摘要
光距离测定装置(101)具有：光路长度计算部(15)，其根据第1光学系统(6)接收到的第1反射光和分支部(3)分支出的参照光，计算从第1光学系统的出射面到测定对象物(107)的反射面的第1光路长度，根据被反射部(8)反射且由第2光学系统(7)接收到的第2反射光和分支部(3)分支出的参照光，计算从第2光学系统(7)的出射面到反射部(8)的反射面的第2光路长度；以及距离计算部(16)，其根据光路长度计算部(15)测定出的第2光路长度，计算空间(108)的折射率，根据该折射率和光路长度计算部(15)测定出的第1光路长度，计算从第1光学系统(6)的出射面到测定对象物(107)的反射面的距离。
基本信息
专利标题 ：
光距离测定装置以及加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114514409A
申请号 ：
CN201980101233.1
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2019-10-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
山内隆典后藤广树斧原圣史铃木巨生
申请人 ：
三菱电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
马建军
优先权 ：
CN201980101233.1
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B9/02015 G01B9/02056 G01C3/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/00
申请日 : 20191018
申请日 : 20191018
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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