保持设计文档内的分层结构信息
公开
摘要
一种用于验证用于数字光刻的设计文档的验证设备，包括存储器及控制器。存储器包括设计文档。控制器被配置为访问设计文档，及向设计文档应用一个或多个合规性规则，以确定设计文档的合规性。合规性规则包括以下项目中的至少一者：检测设计文档内的非正交边缘；检测设计文档内的不合规重叠结构；及检测设计文档的参考层与设计文档的目标层之间的不合规交互作用。控制器更被配置为响应于将非正交边缘、不合规重叠结构、及不合规交互作用的数量与阈值进行的比较，来验证设计文档。
基本信息
专利标题 ：
保持设计文档内的分层结构信息
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616597A
申请号 ：
CN201980101774.4
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2019-11-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
康宗勋董银锋洪诚谦杨耀程高再传
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201980101774.4
主分类号 ：
G06V30/414
IPC分类号 ：
G06V30/414 G06V30/146 H01L21/027
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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