本发明适用于半导体技术领域，提供了一种激光二极管像散的测量系统及测量方法，系统包括激光二极管、透镜、分束棱镜、光功率计、相机、横缝光阑和竖缝光阑；激光二极管发射激光光束通过透镜传输至分束棱镜；分束棱镜对部分出射光束进行透射形成透射光束，对部分出射光束进行反射形成反射光束；相机实时监控反射光束的光斑形态；横缝光阑安装在光功率计上；根据光功率计实时测量的功率确定光功率计的位置；竖缝光阑替换横缝光阑；将激光二极管从初始位置向前移动至目标位置，激光二极管位于目标位置时，光功率计在激光二极管向前移动的过程中测量的功率最大；初始位置与目标位置之间的距离为激光二极管的像散值。本发明能提高像散测量的准确性。