本发明涉及一种有机硅单体精馏热集成方法。包括脱高塔、脱低塔、轻分塔、含氢塔、共沸塔、三甲塔、高沸塔、常压二元上塔和常压二元下塔、高压二元上塔和高压二元下塔、中压优二甲塔、高压优二甲塔十三个塔；常压二元上塔和常压二元下塔为串塔；高压二元上塔和高压二元下塔串塔；高压优二甲塔和中压优二甲塔为并联。发明实现耦合设计，这个流程相比于常规的十塔流程运行能耗理论上可降低至少60％以上；采用低压和高压搭配的二元塔代替常规流程的二甲塔和一甲塔，采用中压和高压优二甲塔代替常规流程的优二甲塔，采用不同压力操作的方式，既保证了分离效率和产品纯度，又为压差耦合的实现提供了工艺基础。