提高钛合金板材硬质耐磨纳米涂层粘附强度的方法
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摘要
一提高钛合金板材硬质耐磨纳米涂层粘附强度的方法，通过设置可独立控制的射频阴极磁控溅射涂层装置，通过磁控管喷雾的方式获得合成靶TiB2+TiN、TiBe+Ti9Cr4B+Cr2Ti或TiB2+SiC后进一步通过离子浸蚀方法在合成靶表面得到复合涂层。本发明的涂层粘附强度提高六倍以上。用等离子浸蚀方法，增加衬层粗糙度；增加偏压不仅增加粘合力，还改善了涂层密度；通过调节沉积温度来提高涂层的附着强度。
基本信息
专利标题 ：
提高钛合金板材硬质耐磨纳米涂层粘附强度的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111254401A
申请号 ：
CN202010158061.6
公开（公告）日 ：
2020-06-09
申请日 ：
2020-03-09
授权号 ：
CN111254401B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
袁秦峰梁必成贺鹏王以华
申请人 ：
浙江申吉钛业股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市安吉县梅溪镇晓墅工业园区
代理机构 ：
上海交达专利事务所
代理人 ：
王毓理
优先权 ：
CN202010158061.6
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/06 C23C14/02 C23C14/50 C22C29/08
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IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2020-07-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20200309
申请日 : 20200309
2020-06-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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