一种确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法
授权
摘要
本发明提供一种确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法，干涉仪在球面离焦检测时动态范围指：探测器完整采样时的最大波像差值或最多圆环数，确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围即为确定探测器完整采样；探测器完整采样的要求是：干涉图可以被探测器完全分辨，且干涉图样上干涉条纹最密处的一个干涉条纹对应的波像差等于探测器的Nyquist频率对应的波像差。本发明弥补了干涉仪在球面离焦测量时缺少确定动态范围的方法，完善了干涉仪的性能指标。理论可靠，方法简单，判断准确，适用范围广。
基本信息
专利标题 ：
一种确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111351425A
申请号 ：
CN202010161017.0
公开（公告）日 ：
2020-06-30
申请日 ：
2020-03-10
授权号 ：
CN111351425B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
潘宝珠汤靖王雪莹方靖淮姜舒昊仲崇贵纪宪明
申请人 ：
南通大学
申请人地址 ：
江苏省南通市崇川区啬园路9号
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐思波
优先权 ：
CN202010161017.0
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2020-07-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20200310
申请日 : 20200310
2020-06-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
