人造钻石生产装置及其微波发射模块
授权
摘要
本发明一种人造钻石生产装置及其微波发射模块，用于对一反应腔体中的一钻石载台发射微波；反应腔体具有一微波窗口；钻石载台朝微波窗口的一侧具有一聚焦区域；微波发射模块位于该反应腔体外，且包含一微波产生器、一聚焦镜片及一调焦机构；微波产生器经微波窗口朝钻石平台发射微波；聚焦镜片位于钻石载台与微波产生器之间，并且集中微波产生器的微波；调焦机构连接聚焦镜片，并且可改变聚焦镜片与微波产生器的间隔距离，而使微波发射模块的微波保持集中于钻石载台的聚焦区域，进而提高人造钻石的生产效率。
基本信息
专利标题 ：
人造钻石生产装置及其微波发射模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113373425A
申请号 ：
CN202010161175.6
公开（公告）日 ：
2021-09-10
申请日 ：
2020-03-10
授权号 ：
CN113373425B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
曹明雄邓亘皓陈汉颖
申请人 ：
宏硕系统股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾苗栗县
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
姜璐璐
优先权 ：
CN202010161175.6
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/511
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2021-09-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/27
申请日 : 20200310
申请日 : 20200310
2021-09-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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