一种基于LTCC的微型化微流量控制器

授权

摘要

本发明公开了一种基于LTCC的微型化微流量控制器，包括：第一陶瓷薄片、第二陶瓷薄片、第三陶瓷薄片、第四陶瓷薄片、第五陶瓷薄片、第六陶瓷薄片、第七陶瓷薄片、第八陶瓷薄片和第九陶瓷薄片；其中，第一陶瓷薄片、第二陶瓷薄片、第三陶瓷薄片、第四陶瓷薄片、第五陶瓷薄片、第六陶瓷薄片、第七陶瓷薄片、第八陶瓷薄片和第九陶瓷薄片依次叠在一起，通过高温烧结而成；其中，高温为450摄氏度～850摄氏度；第一陶瓷薄片、第二陶瓷薄片、第三陶瓷薄片、第四陶瓷薄片、第五陶瓷薄片、第六陶瓷薄片、第七陶瓷薄片、第八陶瓷薄片和第九陶瓷薄片的直径均相等。本发明实现了产品的微型化和轻质化。

基本信息

专利标题：

一种基于LTCC的微型化微流量控制器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111649172A

申请号：

CN202010301347.5

公开（公告）日：

2020-09-11

申请日：

2020-04-16

授权号：

CN111649172B

授权日：

2022-04-19

发明人：

官长斌沈岩刘旭辉姚兆普张美杰南柯曾昭奇范旭丰于金盈惠欢欢扈延林毛威王兆立李恒建张良李伟赵立伟庚喜慧谢继香任凯张志伟王建王国华刘鹏飞

申请人：

北京控制工程研究所

申请人地址：

北京市海淀区北京2729信箱

代理机构：

中国航天科技专利中心

代理人：

高志瑞

优先权：

CN202010301347.5

主分类号：

F16K99/00

IPC分类号：

F16K99/00