一种槽式清洗设备的密封盖及槽式清洗设备
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摘要
本发明公开一种槽式清洗设备的密封盖及槽式清洗设备，所述密封盖用于密封所述槽式清洗设备的清洗槽，所述密封盖包括密封盖本体(100)、密封膜(200)和支撑件(300)；所述支撑件(300)设置于所述密封盖本体(100)上，且所述支撑件(300)凸起于所述密封盖本体(100)背离所述清洗槽的一侧，所述密封膜(200)覆盖所述密封盖本体(100)背离所述清洗槽的一侧，且所述支撑件(300)支撑所述密封膜(200)，以使所述密封膜(200)形成导流斜面。上述方案能够解决密封盖积液较多而导致气缸、密封盖容易损坏以及污染液体流入清洗槽的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种槽式清洗设备的密封盖及槽式清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111589781A
申请号 ：
CN202010436620.5
公开（公告）日 ：
2020-08-28
申请日 ：
2020-05-21
授权号 ：
CN111589781B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
刘东旭王锐廷
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
施敬勃
优先权 ：
CN202010436620.5
主分类号 ：
B08B3/04
IPC分类号 ：
B08B3/04 B08B13/00 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2020-09-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/04
申请日 : 20200521
申请日 : 20200521
2020-08-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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