本申请涉及金刚石领域，具体而言，涉及一种金刚石微粉、金刚石单晶洁净处理的方法以及设备。将金刚石微粉在有氧气氛下焙烧氧化残余石墨，同时使金属杂质氧化生锈，得第一产物。将第一产物与除锈剂混合反应，溶解金属氧化物，得第二产物。去除第二产物中的反应残液，并淘洗干净。该方法首先通过焙烧将含杂金刚石微粉中的石墨氧化去除，同时也使金属杂质氧化为金属氧化物；而后采用除锈剂对金刚石物料进行除锈，获得纯净的金刚石单晶和微粉。实现该方法的洁净处理设备，可以进行洁净处理全过程的连续多步反应直至最后的物料烘干，同样适用于含杂金刚石单晶物料处理，也适用单步骤的工艺处理。该设备自动化程度高，节省人力，洁净处理工艺稳定性好。