氧化铝陶瓷及其制备方法
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摘要
本发明公开了一种氧化铝陶瓷及其制备方法，该方法包括如下步骤：将氧化铝粉制成浆料，得到粒径D90小于或等于0.8μm的氧化铝浆料；将氧化铝浆料干燥，得到氧化铝细粉；氧化铝粉中氧化铝的含量≥99wt％；将光敏树脂、第一分散剂和润滑剂加热融化后，加入氧化铝细粉和紫外光吸收剂，混合均匀后进行抽真空处理，得到氧化铝光固化浆料；将氧化铝光固化浆料经3D打印成型，得到氧化铝陶瓷坯体；将氧化铝陶瓷坯体经过常压脱脂烧结，得到氧化铝陶瓷；常压脱脂烧结的条件为：以(0.2～1)℃/min的速率升温至550℃～650℃，保温6h～10h，然后以(1～5)℃/min的速率升温至1200℃～1400℃，保温5h～8h。采用该方法制得的氧化铝陶瓷的致密度高、机械性能好，能够满足半导体设备对陶瓷材料的要求。
基本信息
专利标题 ：
氧化铝陶瓷及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111807823A
申请号 ：
CN202010517344.5
公开（公告）日 ：
2020-10-23
申请日 ：
2020-06-09
授权号 ：
CN111807823B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
甘志俭程银兵杨斌庄志杰
申请人 ：
基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区汾湖经济开发区汾杨路东侧
代理机构 ：
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
隆前进
优先权 ：
CN202010517344.5
主分类号 ：
C04B35/111
IPC分类号 ：
C04B35/111 C04B35/622 C04B35/626 C04B35/638 C04B35/64 B33Y70/10 B33Y10/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C04
水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料
C04B
石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷；耐火材料；天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/01
以氧化物为基料的
C04B35/10
以氧化铝为基料的
C04B35/111
精细陶瓷
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2020-11-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C04B 35/111
申请日 : 20200609
申请日 : 20200609
2020-10-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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