一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片的流量流速的微阀
授权
摘要
本发明提供一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量调节的微阀，其包括包括驱动模块和传感调节模块以及流量调节方法。其驱动模块包括保温腔、电磁加热器、空腔层等，用来为微阀提供动力源。传感调节模块主要包括温度薄膜传感器、压电薄膜以及PDMS薄膜等，用来检测温度是否达到标准以及流量是否达到预期。两个模块通过彼此间的配合来实现调节微流控芯片通道的流量大小以及开关。使用温度作为动力源，通过温度薄膜传感器的反馈精准控制动力的大小，最后通过压电薄膜反馈是否达到要求。本发明所设计的微流控芯片流量调节的微阀具有体积小、控制精度高，灵敏度高，可实时反馈等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片的流量流速的微阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111692400A
申请号 ：
CN202010577190.9
公开（公告）日 ：
2020-09-22
申请日 ：
2020-06-23
授权号 ：
CN111692400B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
王俊尧李云鹏刘欢孙琪侯琪孙功臣陈星宇
申请人 ：
东北电力大学
申请人地址 ：
吉林省吉林市船营区169号
代理机构 ：
长春市吉利专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
李晓莉
优先权 ：
CN202010577190.9
主分类号 ：
F16K31/02
IPC分类号 ：
F16K31/02 F16K99/00
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K31/00
操作装置；释放装置
F16K31/02
电力的；磁力的
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-10-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 31/02
申请日 : 20200623
申请日 : 20200623
2020-09-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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