压电产生装置及其制作方法、微机电系统
授权
摘要
本申请实施例公开了一种压电产生装置及其制作方法、微机电系统，该压电产生装置中的压电元件包括硅衬底和第一金属电极，其中，所述硅衬底的第一表面具有与空气接触形成的第一压电层，该压电元件在受到作用力，产生形变时，可以产生电荷。而且，该压电产生装置的压电元件在制作时，只需先使所述硅衬底的第一表面与空气接触形成第一压电层，再在该第一电压层表面形成第一金属电极即可，结构和制作工艺简单，从而可以简化具有该压电元件的压电产生装置的制备工艺，进而简化具有该压电产生装置的微机电系统MEMS的制备工艺。
基本信息
专利标题 ：
压电产生装置及其制作方法、微机电系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111682100A
申请号 ：
CN202010645796.1
公开（公告）日 ：
2020-09-18
申请日 ：
2020-07-07
授权号 ：
CN111682100B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
初宝进田冬霞
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河区金寨路96号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹秀
优先权 ：
CN202010645796.1
主分类号 ：
H01L41/08
IPC分类号 ：
H01L41/08 H01L41/083 H01L41/22
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2020-10-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/08
申请日 : 20200707
申请日 : 20200707
2020-09-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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