一种基于激光刻蚀石墨烯薄膜堆叠的光子晶体及加工方法
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摘要
本发明提供了一种基于激光刻蚀石墨烯薄膜堆叠的光子晶体,包括若干个堆叠在一起的双层晶体结构,双层晶体结构包括玻璃基片和石墨烯薄膜,石墨烯薄膜上与环形玻璃基片中空部分对应的区域设置有周期性微结构图形,使得该双层晶体结构形成了一石墨烯薄膜层和一空气层,改变玻璃基片的厚度即可调节空气层的厚度;石墨烯薄膜上的周期性微结构图形采用激光刻蚀方法根据设计图形制作。本发明还同时提供了一种基于激光刻蚀石墨烯薄膜堆叠的光子晶体的加工方法。本发明能够快速制备光子晶体,工艺简单易于实现,设计的微周期结构的尺寸、刻蚀图形等参数均能快速调节,最终实现对不同频率的光在光子晶体中传播的控制,具有极好的设计灵活性和参数可调性。
基本信息
专利标题 :
一种基于激光刻蚀石墨烯薄膜堆叠的光子晶体及加工方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111880261A
申请号 :
CN202010781050.3
公开(公告)日 :
2020-11-03
申请日 :
2020-08-06
授权号 :
CN111880261B
授权日 :
2022-05-10
发明人 :
刘子豪曹宇柳杨薛伟刘文文陈洁朱德华孙兵涛
申请人 :
温州大学平阳智能制造研究院
申请人地址 :
浙江省温州市平阳县万全镇轻工业机械园区
代理机构 :
北京中北知识产权代理有限公司
代理人 :
陈孝政
优先权 :
CN202010781050.3
主分类号 :
G02B6/122
IPC分类号 :
G02B6/122 G02B6/136 B23K26/362
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导;包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
G02B6/122
基本光学元件,例如,传导光的光路
法律状态
2022-05-10 :
授权
2020-11-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 6/122
申请日 : 20200806
申请日 : 20200806
2020-11-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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