基于非共面标记线的柱面镜与码盘玻璃粘接装置及方法
授权
摘要
本发明涉及一种基于非共面标记线的柱面镜与码盘玻璃粘接装置和方法,属于光电探测器技术领域。该装置以底座上表面为测量系统坐标系的XOY平面,垂直于XOY平面的坐标轴为测量坐标系的Z轴,二维移动平台位于底座上表面能够沿测量系统坐标系的X轴方向和Y方向移动;码盘柱面镜粘接模具位于二维移动平台上,用于叠放码盘和柱面镜,能够沿测量系统坐标系的X轴方向和Y方向,调整码盘或者柱面镜相对于二维移动平台的位置;立柱垂直安装在底座上,显微镜光学系统和CCD相机安装在立柱上,显微光学系统用于对叠放的码盘和柱面镜成像,CCD相机的镜头对准显微光学系统的目镜,用于对显微光学系统所成的图像进行光电转换,并上传至计算机。
基本信息
专利标题 :
基于非共面标记线的柱面镜与码盘玻璃粘接装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112034579A
申请号 :
CN202010790094.2
公开(公告)日 :
2020-12-04
申请日 :
2020-08-07
授权号 :
CN112034579B
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
王婧烨吕志强赵晓雨刘旭力汪艳戈强杨宇孟宪刚杨立洲高修涛邵逸恺田广武宏宇赵娜石建民范汉超
申请人 :
北京控制工程研究所
申请人地址 :
北京市海淀区北京2729信箱
代理机构 :
中国航天科技专利中心
代理人 :
徐晓艳
优先权 :
CN202010790094.2
主分类号 :
G02B7/00
IPC分类号 :
G02B7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
法律状态
2022-05-24 :
授权
2020-12-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 7/00
申请日 : 20200807
申请日 : 20200807
2020-12-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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