本发明公开了一种基于VR和AR的半导体微纳加工工艺实训系统及其用途。所述半导体微纳加工工艺实训系统包括微纳加工课件单元，以及与所述微纳加工课件单元通过互联网连接的支撑硬件单元和支撑软件单元，所述微纳加工课件单元包括半导体微纳加工技术中的安全防护模块、原材料模块、工艺原理模块、半导体设备模块、工艺设计模块和工艺操作模块。本发明利用VR/AR技术，通过构建半导体微纳加工过程的虚拟场景，能实现半导体微纳加工工艺技术的教学、训练、模拟操作与考核评估，可支持多人同时在线学习，信息实时共享，有利于扩大半导体工艺人员的培训规模和效率，具有操作安全、交互感强烈、沉浸式体验、成本低、效率高等特点。