一种具有超高重复频率的IPOP系统构架式高压微秒脉冲电源

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摘要

本发明公开了等离子体放电技术领域的一种具有超高重复频率的IPOP系统构架式高压微秒脉冲电源，包括主功率部分和控制信号部分，所述主功率部分由AC‑DC整流模块可调输出单元、N路微秒脉冲电源功率模块以及等离子体放电负载单元构成，所述控制信号部分由初始PWM信号发生单元、(N‑1)路移相交错控制单元以及以及N路微秒脉冲电源模块的PWM信号输入接口组成，用的多模块式IPOP的分布式架构，在满足相同功率等级条件下，整机体积减小，功率密度增加，效率高且低成本。

基本信息

专利标题：

一种具有超高重复频率的IPOP系统构架式高压微秒脉冲电源

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112072945A

申请号：

CN202010865986.4

公开（公告）日：

2020-12-11

申请日：

2020-08-25

授权号：

CN112072945B

授权日：

2022-06-14

发明人：

金珊珊章春晖彭月阳方志

申请人：

南京工业大学

申请人地址：

江苏省南京市浦口区浦珠南路30号

代理机构：

苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

丁秀华

优先权：

CN202010865986.4

主分类号：

H02M9/06

IPC分类号：

H02M9/06 H03K3/57 H05H1/24