彩色太阳能电池用叠层膜及制备方法和彩色太阳能电池
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摘要
本发明公开了一种彩色太阳能电池用叠层膜及制备方法和彩色太阳能电池，所述叠层膜包括四层介质膜，自下而上依次为第一氮化硅膜、第一氮氧化硅膜、第二氮化硅膜和第二氮氧化硅膜；所述叠层膜的制备方法是将硅片送入PECVD炉管内，分层叠加沉积介质膜；所述彩色太阳能电池包括上述叠层膜。本发明的叠层膜中各层的成分和厚度易于控制，纵向成分均匀，重复性好；具有良好的减反和钝化双重效果；制备方法简单，成膜时间短，降低了生产成本，适用于彩色太阳能电池。
基本信息
专利标题 ：
彩色太阳能电池用叠层膜及制备方法和彩色太阳能电池
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112038422A
申请号 ：
CN202010894037.9
公开（公告）日 ：
2020-12-04
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN112038422B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
罗西佳梅晓东符黎明
申请人 ：
常州时创能源股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202010894037.9
主分类号 ：
H01L31/0216
IPC分类号 ：
H01L31/0216 H01L31/18
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-12-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0216
申请日 : 20200831
申请日 : 20200831
2020-12-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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