一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法
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摘要
本申请公开了一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法，包括以下步骤：(1)确定电真空器件的出气率q0；(2)建立电真空器件的出气率模型；(3)将步骤(1)确定的出气率q0代入步骤(2)建立的出气率模型，计算得出真空计临界压力值P0；(4)读取真空计的压力值P；(5)将步骤(4)读取的压力值P与步骤(3)计算的真空计临界压力值P0进行比较，判断电真空器件内部真空度是否达到设计值。本申请通过建立电真空器件的出气率模型，实现电真空器件出气率的间接获取，从而实现了电真空器件真空度的检测，本申请解决相关技术中密封的电真空器件真空度变化无法观察的的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112146811A
申请号 ：
CN202010971826.8
公开（公告）日 ：
2020-12-29
申请日 ：
2020-09-15
授权号 ：
CN112146811B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
陈江刘志栋李得天张涤新成大鹏马寅光郑宁杨军高玮李巍伟
申请人 ：
兰州空间技术物理研究所
申请人地址 ：
甘肃省兰州市城关区渭源路97号
代理机构 ：
北京亿次方科创知识产权代理有限公司
代理人 ：
吕晓蓉
优先权 ：
CN202010971826.8
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2021-01-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 21/00
申请日 : 20200915
申请日 : 20200915
2020-12-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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