本申请提供一种晶圆传送装置，通过将晶圆槽的第一放置槽和第二放置槽采用两个导电极板形成电容，并且将放置晶圆的第一极板采用形变材料，当晶圆放置到第一极板上时，第一极板和所述第二极板之间的距离减小，并在极板之间连接有检测电路和电源，电源用于为极板提供电压，检测电路用于检测第一放置槽对应的电容值以及第二放置槽对应的电容值，两个极板之间的距离变化，会导致电容的电容值发生变化，能够根据第一放置槽对应的电容值和第二放置槽对应的电容值的变化情况，确定第一放置槽和第二放置槽上放置的晶圆的状态，该晶圆传送装置能够在晶圆装载至晶圆传送装置中及时发现晶圆的异常状态，及时采取对应的措施。