MEMS致动系统
公开
摘要
本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。其中该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器；该平面内MEMS致动器包括电磁致动器部分。
基本信息
专利标题 ：
MEMS致动系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114265165A
申请号 ：
CN202011023508.5
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-09-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王桂芹马修·恩格刘晓蕾
申请人 ：
麦斯卓有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京高文律师事务所
代理人 ：
王冬
优先权 ：
CN202011023508.5
主分类号 ：
G02B7/00
IPC分类号 ：
G02B7/00 G02B7/09 G03B13/36 H04N5/225
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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