一种感光性树脂组合物及其应用
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种感光性树脂组合物，包含(A)具有如通式(I)所示结构的六芳基双咪唑类混合光引发剂和(B)由包含通式(Ⅱ)所示化合物的单体经过聚合反应得到的碱可溶性聚合物。该组合物应用时具有优异的分辨率和附着力，组合物相容性及稳定性好，且具有优异的显影性，能显著减少循环使用时显影液中的淤渣量，使得显影液可重复多次、有效使用。
基本信息
专利标题 ：
一种感光性树脂组合物及其应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326309A
申请号 ：
CN202011046266.1
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
严春霞
申请人 ：
常州正洁智造科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区遥观镇钱家路8号
代理机构 ：
北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘子文
优先权 ：
CN202011046266.1
主分类号 ：
G03F7/075
IPC分类号 ：
G03F7/075 G03F7/004 H05K3/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/075
含硅的化合物
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/075
申请日 : 20200929
申请日 : 20200929
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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