微滴沉积头对齐系统

授权

摘要

本申请涉及微滴沉积头对齐系统。一种微滴沉积头，包括用于在竖直安装模式或水平安装模式下使头相对于外部安装部件对齐的基准表面布置，在竖直安装模式中，头抵靠竖直安装板被保持，在水平安装模式中，头抵靠水平安装板被保持。基准表面布置包括设置在头上的至少七个基准表面(x1；y1、y2、y3；z1、z2、z3)，其中该七个基准表面中的五个设置成用于在竖直安装模式和水平安装模式中对齐，并且其中第六基准表面(z3)设置成用于仅仅在所述水平安装模式中对齐，并且第七基准表面(y3)设置成用于仅仅在所述竖直安装模式中对齐。

基本信息

专利标题：

微滴沉积头对齐系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112223918A

申请号：

CN202011104239.5

公开（公告）日：

2021-01-15

申请日：

2017-04-13

授权号：

CN112223918B

授权日：

2022-05-27

发明人：

乌尔里克·曼弗雷德·农顿斯蒂芬·马克·简波斯理查德·休·路易斯J·加西亚马扎阿图罗·加西亚·戈麦斯罗伯特·约翰·查尔斯·邓恩

申请人：

赛尔科技有限公司

申请人地址：

英国剑桥

代理机构：

北京安信方达知识产权代理有限公司

代理人：

李薇

优先权：

CN202011104239.5

主分类号：

B41J25/34

IPC分类号：

B41J25/34 B41J2/14 B29C64/209 B33Y30/00