本发明公开了一种校准方法、校准系统和微波烹饪设备。校准方法用于微波烹饪设备的固态源。固态源包括至少一个输出端。校准方法包括：根据第一功率设定值，控制固态源发射微波，固态源的输出端连接有衰减器，衰减器连接有功率计；获取固态源的正向功率采样值；调节固态源的衰减值以使得从功率计读取到的实际输出功率值与第一功率设定值相等；在实际输出功率值与第一功率设定值相等的情况下，建立并存储第一功率设定值、衰减值、正向功率采样值、实际输出功率值的第一对应关系。上述校准方法中，可将第一对应关系保存在固态源，使得固态源在接收设定功率值指令时，通过第一对应关系，快速响应并输出设定功率值，进而可以较为精准地控制输出的能量。