槽式清洗设备的排气装置及排气方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种槽式清洗设备的排气装置。所述排气装置包括：排气罩和排气管道，排气罩环绕设置于槽式清洗设备的化学药液槽的四周外侧，被配置为可自由地上下移动，以便吸入化学药液槽产生的化学气体；排气管道与排气罩连接，被配置为将排气罩吸入的化学气体排出槽式清洗设备。本发明能够快速排出槽式清洗设备内残留的化学气体。
基本信息
专利标题 ：
槽式清洗设备的排气装置及排气方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114378088A
申请号 ：
CN202011121210.8
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴英植胡艳鹏李琳卢一泓
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京兰亭信通知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙峰芳
优先权 ：
CN202011121210.8
主分类号 ：
B08B15/00
IPC分类号 ：
B08B15/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B15/00
防止污物或烟尘从产生处逸出；从产生处收集或清除污物或烟尘
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 15/00
申请日 : 20201019
申请日 : 20201019
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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