本发明介绍了一种用于太阳能级多晶硅制备过程中硅锭脱模的复合陶瓷涂层脱模剂，通过氮氧化硅、β氮化硅、聚乙烯醇和水为原料制成。Si₂N₂O热学和力学性能与Si₃N₄材料相似，但其抗氧化、抗热震和化学稳定性均优于Si₃N₄材料。Si熔体对Si₂N₂O材料表现出超疏特性，且二者不会发生化学反应，所以可以有效减少Si铸锭因粘连、杂质扩散而造成品质降低的情况，达到提高多晶Si一级品率的目的；而β‑Si₃N₄自由能低于α相，制备难度低，制备相同量的Si₃N₄粉体，α相的成本是β相的3～5倍，所以使用β‑Si₃N₄基涂层，制备成本可以得到有效控制。综上，Si₂N₂O/β‑Si₃N₄复合陶瓷涂层是一种热力学性能和润湿性能均优于传统Si₃N₄，且成本低廉的脱模涂层。