压电元件、液体喷出头以及打印机

授权

摘要

本发明提供一种不使用镍酸镧作为取向控制层便能够控制包含钾、钠以及铌的压电体层的取向的压电元件、液体喷出头以及打印机。压电元件包括被设置在基体上的第一电极、被设置在所述第一电极上且包括包含钾、钠以及铌的钙钛矿结构的复合氧化物的压电体层、以及被设置在所述压电体层上的第二电极，所述第一电极是铂层，所述第一电极是(111)择优取向，所述第一电极的平均结晶粒径是200nm以上。

基本信息

专利标题：

压电元件、液体喷出头以及打印机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112721450A

申请号：

CN202011144790.2

公开（公告）日：

2021-04-30

申请日：

2020-10-23

授权号：

CN112721450B

授权日：

2022-06-14

发明人：

北田和也塚原克智

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京金信知识产权代理有限公司

代理人：

权太白

优先权：

CN202011144790.2

主分类号：

B41J2/14

IPC分类号：

B41J2/14 B41J2/01 H01L41/09 H01L41/047 H01L41/18