一种测试结构、测试结构形成方法及工作方法，结构包括：衬底；位于衬底上的呈M行×N列阵列排布的测试单元，M为大于1的自然数，N为大于1的自然数，测试单元包括：若干沿第一方向平行排列的栅极结构、以及位于相邻栅极结构之间的若干第一金属层，第一方向平行于衬底表面；若干位于第一金属层上的第二金属层，任一第二金属层与一个第一金属层电连接，第二金属层的延伸方向与第一金属层的延伸方向平行；M根第三金属层，任一第三金属层与沿第一方向平行排列的一行栅极结构电连接，第三金属层平行于第一方向；与M根第三金属层电连接的第四金属层，第四金属层、第三金属层和第二金属层位于同一层。所述测试结构的工作效率得到提升。