本申请公开一种碳化硅陶瓷材料、陶瓷模具及其制备方法，碳化硅陶瓷材料包括：碳化硅微粉75‑90％、粘结剂2‑5％及烧结助剂5‑20％；其中，所述碳化硅微粉的累计粒度分布百分数达到50％时所对应的粒径为0.2‑1.0μm。陶瓷模具的制备方法包括：按预设的质量比例将碳化硅陶瓷材料的各项原料进行研磨；混合研磨后的所述原料，形成粉料；利用预设的模具对所述粉料进行预压成型，形成坯料；将所述坯料进行烧制形成所述陶瓷模具。通过采用碳化硅作为主要原料，碳化硅的硬度远较石墨高，耐磨损性能好，同时，碳化硅的C‑Si键能较大，在高温情况下，相比石墨更难氧化，减少了因为氧化及脱落产生的麻点，有效提高模具寿命，减少后期维护带来的成本投入。