阀控制装置以及真空阀
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种可实现调压时间的缩短的阀控制装置以及真空阀。阀控制装置(2)通过开控制来对安装于真空室的真空阀的开度进行控制，且所述阀控制装置(2)包括：前馈控制器(220)，输出开控制的开度设定值(θ1)；以及调压控制器(21)，在开度设定值(θ1)成为一定值的固定期间内的规定期间中，判定所述一定值的情况的压力平衡值不超过阀控制的压力目标值(Ps)。调压控制器(21)若判定压力平衡值不超过压力目标值(Ps)，则基于所述判定结果来控制开度。
基本信息
专利标题 ：
阀控制装置以及真空阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114484040A
申请号 ：
CN202011160735.2
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小崎纯一郎
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛恒
优先权 ：
CN202011160735.2
主分类号 ：
F16K31/04
IPC分类号 ：
F16K31/04 F16K37/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K31/00
操作装置；释放装置
F16K31/02
电力的；磁力的
F16K31/04
使用马达
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 31/04
申请日 : 20201027
申请日 : 20201027
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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