本申请提供一种提高晶圆检测灵敏度的方法、装置以及存储介质。该方法包括获取晶圆外围电路区域的灰阶图；将所述灰阶图划分为至少一个像素区域；确定每个所述像素区域中的重复图像区域，所述重复图像区域为N*M像素点区域，所述重复图像区域中同一列的M个像素点的灰阶值相同；其中，N和M为大于0的整数；根据所述灰阶图中所有的所述重复图像区域，确定所述晶圆外围电路区域的出现干涉叠加的位置信息。本申请的方法可以更精准、更全面得确定出外围电路区域的重复图像区域，解决现有技术暗场扫描检测晶圆的灵敏度低，无法有效检测出晶圆的缺陷，检测效率低的问题。