本申请提供一种加速度计、惯性测量单元IMU和电子设备，通过第一锚点区域位于第一轴加速度计的中心位置，有助于降低加速度计的零偏、标度因子等参数的温度系数，提高器件的稳定性。该加速度计包括上盖板层、第一轴加速度计和衬底层，第一轴加速度计包括第一锚点区域、悬臂梁、第一检验质量、第一活动电极、第二活动电极、第一固定电极、第二固定电极、第二锚点区域和第三锚点区域；第一检验质量通过悬臂梁支撑悬空于底层上方；第一锚点区域、第二锚点区域、第三锚点区域分别连接于衬底层和/或上盖板层，第一锚点区域位于第一轴加速度计的中心位置。本申请可应用于消费电子、可穿戴设备、工业自动化、汽车工业、航空业等领域。