本公开涉及光源装置。一种光源装置，包括：等离子源；第一电源，用于为等离子源供电；第一电极，具有孔；第二电源，用于在等离子源的负电极与第一电极之间产生第一电场，使得等离子体从孔穿过第一电极；第二电极，用于接收穿过第一电极的等离子体；第三电源，用于在第一电极与第二电极之间产生第二电场；真空室；以及磁体，用于产生磁场，磁场被构造成将等离子体约束在真空室的中心轴附近，真空室包括第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室，磁体包括：第一磁体，用于在第一腔室中产生第一磁场；第二磁体，用于在第二腔室中产生第二磁场；以及第三磁体，用于在第四腔室中产生第三磁场，等离子体在第三腔室中会聚，从而产生电磁辐射。