用于化学机械平坦化的复合催化剂及其制备方法和抛光液
公开
摘要
本申请实施例提供一种用于化学机械平坦化的复合催化剂，包括载体、负载在所述载体上的催化剂纳米颗粒、以及将所述载体和所述催化剂纳米颗粒包裹在内的多孔保护层，所述载体包括无机物载体或高分子载体，所述多孔保护层包括多孔材料。该复合催化剂催化效率高，且本身不会对抛光液的pH范围构成限制，也不存在金属离子污染，有利于后清洗和降低器件缺陷率；多孔保护层的存在可避免催化剂纳米颗粒与器件表面直接摩擦，避免器件刮伤和催化剂失效。采用本申请实施例复合催化剂的抛光液进行化学机械平坦化工艺，可以在提高抛光速率的同时有利于后清洗工序，降低器件缺陷产生。本申请还提供了该复合催化剂的制备方法和采用该复合催化剂的抛光液。
基本信息
专利标题 ：
用于化学机械平坦化的复合催化剂及其制备方法和抛光液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114433159A
申请号 ：
CN202011200692.6
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-10-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨勍邹海良周慧慧
申请人 ：
华为技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
熊永强
优先权 ：
CN202011200692.6
主分类号 ：
B01J27/24
IPC分类号 ：
B01J27/24 B01J21/08 B01J37/10 B01J35/10 B01J35/02 B01J37/02 B01J33/00 C09G1/02 B82Y30/00 B82Y40/00 H01L21/306
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J27/00
包含卤素、硫、硒、碲、磷或氮的元素或化合物的催化剂；包含碳化合物的催化剂
B01J27/24
氮的化合物
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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