本申请提供一种晶圆脚本设定方法、装置、设备及存储介质。若需求单元根据参变量信息确定待执行脚本的执行必要条件满足业务需求，平台单元获取待执行脚本的批次标识以及对应的生产信息，在需求单元确定待执行脚本对应的晶圆首次执行待执行脚本，平台单元检验第一晶圆对应的第一生产信息是否满足执行必要条件，若是，平台单元为第一晶圆设定参变量信息以及赋值信息，并将设定信息后的第一晶圆同步至物料执行单元，以使物料执行单元执行相应操作。无需修改脚本进程，即可实现对待执行脚本的即时设定，并从源头避开了不符合执行必要条件的待执行脚本，避免了晶圆批量报废风险的发生，并且设定过程与批次数量无关，不会对整体生产效能产生影响。