气密检测设备与气密检测方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种气密检测设备与气密检测方法。气密检测设备包含承载盘、加压系统以及检测系统。在此气密检测方法中,首先将待测石英谐振器送入加压系统的腔室中,并使此腔室维持气密状态。接着,利用加压系统来对腔室进行第一加压阶段、第二加压阶段及回收阶段。第一加压阶段是供应加压气体至腔室来将腔室加压至第一气压值。第二加压阶段是供应加压气体至腔室来将腔室加压至第二气压值。回收阶段是从腔室回收加压气体。其中,在第二加压阶段中,检测待测石英谐振器的阻值,以据此判断待测石英谐振器的气密性是否正常。如此,可提高石英谐振器的气密检测准确率。
基本信息
专利标题 :
气密检测设备与气密检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114441098A
申请号 :
CN202011213069.4
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2020-11-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
曾世长
申请人 :
加高电子股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾高雄市大寮区大发工业区华东路39号
代理机构 :
隆天知识产权代理有限公司
代理人 :
黄艳
优先权 :
CN202011213069.4
主分类号 :
G01M3/02
IPC分类号 :
G01M3/02 G01M3/40 G01R27/02 G01R27/26 G01R23/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 3/02
申请日 : 20201104
申请日 : 20201104
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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