本发明公开了铌‑铌硅金属间化合物复合材料、其制备方法及扩散焊模具，涉及材料技术领域。铌‑铌硅金属间化合物复合材料包括多个铌层和位于相邻的两个铌层之间的铌硅复合层，具有很好的断裂韧性。铌‑铌硅金属间化合物复合材料的制备方法通过将Si粉分散于铌层材料上形成待焊基材，将多个待焊基材叠加后进行扩散焊，利用Si粉和铌层材料相互接触和扩散，形成具有良好韧性的铌层和铌硅复合层相互交替的多层材料。该扩散焊模具利用模具底座和顶部盖板对中间的待焊基材进行夹持，便于施加压力使待焊基材充分接触，也能够很好地对待焊基材进行固定和定位。