一种用于非球面检测的变焦补偿器光学系统
授权
摘要
本发明公开了一种用于非球面检测的变焦补偿器光学系统,包括干涉仪、变焦补偿器、被测非球面,在干涉仪点光源与被测非球面之间插入变焦补偿器,变焦补偿器包括第一补偿透镜和第二补偿透镜,两透镜之间有调焦机构,由干涉仪发出的光线经第一补偿透镜和第二补偿透镜透射后,至被测非球面自准直反射,再经第二补偿透镜和第一补偿透镜透射回到干涉仪,形成检测光路。本发明可以补偿大范围内变化的复杂面形的像差,在不需要重新加工制造补偿器的情况下完成对多种非球面面形的高精度检测,具有结构简单、面形适应性强等特点;使得设计自由度增大,根据光束入射角度和位置的不同,能够产生较大范围变化的像差;提高了测量的通用性。
基本信息
专利标题 :
一种用于非球面检测的变焦补偿器光学系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112361983A
申请号 :
CN202011236949.3
公开(公告)日 :
2021-02-12
申请日 :
2020-11-09
授权号 :
CN112361983B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
董云芬张盈盈王波宫萌
申请人 :
中科院南京天文仪器有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市玄武区花园路6-10号
代理机构 :
南京知识律师事务所
代理人 :
李湘群
优先权 :
CN202011236949.3
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24 G01M11/02 G02B26/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-08 :
授权
2021-03-05 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20201109
申请日 : 20201109
2021-02-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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