非球形的二氧化硅颗粒及其制备方法和抛光液
公开
摘要
本申请提供一种用作抛光的磨料的非球形的二氧化硅颗粒，为纳米二氧化硅通过与硅烷偶联剂反应而连接形成非球形的团簇，化学结构通式为(SiO2)a‑(A1)b‑(A2)c‑(SiO2)d，其中a、b和d均为大于等于1的自然数，c为大于等于0的自然数，A1、A2均为硅烷偶联剂水解接枝在SiO2表面的基团，A1和A2均通过硅氧基接枝在SiO2表面。本申请还提供该种非球形的二氧化硅颗粒的制备方法以及含有该种非球形的二氧化硅颗粒的抛光液。所述非球形的二氧化硅颗粒作为化学机械平坦化工艺的抛光液的磨料，具有高的去除速率且对产品(如芯片)的划痕少。
基本信息
专利标题 ：
非球形的二氧化硅颗粒及其制备方法和抛光液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114539813A
申请号 ：
CN202011295983.8
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨勍王树东苏宏久邹海良任高远周慧慧
申请人 ：
华为技术有限公司;中国科学院大连化学物理研究所
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
代理机构 ：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
代理人 ：
张小丽
优先权 ：
CN202011295983.8
主分类号 ：
C09C1/30
IPC分类号 ：
C09C1/30 C09C3/08 C09G1/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09C
纤维状填料以外的无机材料的处理以增强它们的着色或填充性能；炭黑的制备
C09C1/00
纤维状填料以外的特殊无机材料的处理；炭黑的制备
C09C1/28
硅的化合物
C09C1/30
硅酸
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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