本发明属于金属陶瓷粉末技术领域，公开了一种超细氮碳化钛的制备方法及其装置，配料制备，选用二氧化钛和碳黑为原材料进行球磨得到混合均匀的粉末；得到的粉末装入真空碳管炉中，在氮气气氛中1800℃～1868℃高温碳化8小时，得到高温碳化料；破损过筛,将高温碳化料进行破损后过筛；低温氮碳化，过筛后的高温碳化料放入真空碳管炉中，抽真空并通入氮气，在1456℃～1553℃下保温12小时，获得碳氮化钛,使得生产的碳氮化钛中碳和氮的含量趋近相等,减少因缺氮或缺碳对碳氮化钛性能的影响，逆反应生成的二氧化钛和碳以及高温碳化料中残留的游离碳，能够二次生成碳氮化钛，降低最终生产的碳氮化钛中游离碳和氧的含量，使得最终生产中的碳氮化钛为单相固溶体。