组成叠瓦电池的电池片的制造方法
公开
摘要
本发明公开了一种组成叠瓦电池的电池片的制造方法，包括：对硅片进行制绒以在硅基底的表面形成绒面；扩散处理，以在绒面外形成扩散层；用第一预设波长的激光对硅片的副栅区域进行局部掺杂；用第二预设波长的激光对硅片进行划片，以在硅片的扩散层所在侧的表面形成分隔槽；刻蚀清洗；氧化处理，以在硅片的表面以及分隔槽表面形成氧化层。这样，在完成丝网印刷后，无需再进行激光划片，整片电池可以直接进行机械掰片，电池会从第二波长的激光划片得到的分隔槽裂开，被掰开后得到的多个小片电池的空间电荷区由氧化硅钝化，有效降低了边缘复合。由于在划片后还进行了氧化工序，因此分隔槽的内表面被钝化，电池小片的电学性能得到了提升。
基本信息
专利标题 ：
组成叠瓦电池的电池片的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613874A
申请号 ：
CN202011336708.6
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-11-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈曦崔巍王俊张楚风吴坚
申请人 ：
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区鹿山路199号
代理机构 ：
北京景闻知识产权代理有限公司
代理人 ：
曹雪荣
优先权 ：
CN202011336708.6
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/0216 H01L31/0224 H01L31/0236
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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