晶圆测试仪的异常通道检测系统及方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种晶圆测试仪的异常通道检测系统及方法，引入了两种类型的探卡来辅助实现，包括I型探卡和II型探卡，I型探卡被配置为当与探针接口板连接时，将晶圆测试仪各通道的驱动管脚和同一通道的I/O管脚一一对应地连接，II型探卡被配置为当与探针接口板连接时，将晶圆测试仪各奇数通道的I/O管脚和各偶数通道的I/O管脚一一对应地连接。本发明能够快速检测出晶圆测试仪的异常通道。
基本信息
专利标题 ：
晶圆测试仪的异常通道检测系统及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545315A
申请号 ：
CN202011341930.5
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-11-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郑相贤曲扬
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京兰亭信通知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙峰芳
优先权 ：
CN202011341930.5
主分类号 ：
G01R35/00
IPC分类号 ：
G01R35/00 G01R31/54 G01R1/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R35/00
包含在本小类其他组中的仪器的测试或校准
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 35/00
申请日 : 20201125
申请日 : 20201125
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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