本发明涉及一种大功率低频间歇超声辅助电铸系统及方法，属精密器件加工技术领域。通过在电铸过程中施加大功率低频间歇超声，解决由于让光刻胶一直处于大功率超声波作用下而导致的变形，同时避免连续超声对沉积层表面的侵蚀破坏。在继电器T_on时，超声换能器和电源同时工作，溶液中的金属阳离子在电场力和超声波的作用下，快速地沉积在光刻胶阴极表面，同时光刻胶阴极表面上产生的氢气泡可以快速离开表面；在继电器T_off时，超声换能器停止工作，电源继续工作。光刻胶阴极表面上无超声辅助作用，溶液中的金属阳离子仅在电场力的作用下沉积在光刻胶阴极表面。继电器T_on和T_off的无限循环实现了超声辅助间歇性作用在光刻胶阴极表面。本发明制备的电沉积层具有较为平整的表面，较小的摩擦系数和较高的尺寸精度。