本发明公开了一种特种气体用隔膜阀及其制造方法，该隔膜阀包括阀体机构、阀芯机构和调节组件，阀体机构内设置有流通通道，阀芯机构包括弹簧座、启闭件、阀杆和弹簧部件，以及隔膜片，隔膜片的截面大于启闭件的底部截面，弹簧座通过弹簧部件挤压隔膜片，调节组件包括制动器和手柄，启闭件上下移动以使流通通道的打开或者关闭。该制造方法包括以下步骤：一、阀体机构的焊接成型；二、阀芯组件的焊接与组装；三、阀芯组件、弹簧座、调节组件和阀体机构的组装。本发明设计合理，提高了阀芯组件的密封性，避免气体传输介质腐蚀阀芯组件，也避免阀芯组件污染气体传输介质，不仅提高了隔膜阀的使用寿命，而且提高了传输介质的纯度。