一种用于检测有机磷化合物的气体传感器及其制备方法
授权
摘要
本申请涉及气体传感器技术领域，本申请公开了一种用于检测有机磷化合物的气体传感器，其包括栅极绝缘结构、有机半导体层、源漏极和修饰层；该栅极绝缘结构的顶部设有该有机半导体层；该有机半导体层的顶部设有该源漏极和该修饰层；该源漏极的源极和漏极之间设有该修饰层，该修饰层的材料为杯芳烃，该修饰层用于调节该气体传感器的灵敏度和气体选择性。本申请提供的该气体传感器具有灵敏度高和对有机磷化合物选择性高的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于检测有机磷化合物的气体传感器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112540105A
申请号 ：
CN202011442807.2
公开（公告）日 ：
2021-03-23
申请日 ：
2020-12-11
授权号 ：
CN112540105B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
宋健李铁郭腾飞王跃林
申请人 ：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN202011442807.2
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12 G01N27/414
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2021-04-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/12
申请日 : 20201211
申请日 : 20201211
2021-03-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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